[晏小北] 功率MOFET的衬底工艺
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功率MOFET的衬底工艺
将晶圆中心区域的厚度削减至目标厚度,保留一圈较厚的边缘部分
[薛定谔的貂儿] 碳化硅材料晶体缺陷
碳化硅材料晶体缺陷
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碳化硅材料晶体缺陷是指在碳化硅晶体生长、加工或使用过程中出现的不完美结构,这些缺陷可能对晶体的电学、热学和机械