半导体装备 今日: 0|主题: 300|排名: 16 

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/Y2R-Gh9MaVWLetZbBeTNRg 在离子注入机里，晶圆进了真空腔室之后，怎么固定住它？用机械夹爪？不行——会产生颗粒污染，而且在真空环境里机械结构越复杂越麻烦。

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/oSBzSh55GOOepzXI0fd0EA HiPIMS为什么沉积速率低，但膜层可能更致密？

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/ZVlyQN4ZXPPi6MF1tpOkDA 电压、电流、功率、频率、占空比：PVD电源参数怎么调？

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/QYjV9H_U2M94BpkbZ91f8w 半导体 Fab 的"盖房队"—薄膜区，AMHS 在这里该怎么配置？——来自CVD/PVD/ALD 的高温、真空、多层堆叠的挑战

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/JhfKCgeOFZOAAkca3UwgDA 定制化开发半导体工艺用炉体（管式炉/RTP/LPCVD炉等），核心是先锁定工艺需求，再按「需求拆解→方案设计→

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/KS1ALyML8jYuPh_63YrAJw 在离子注入机里，晶圆进了真空腔室之后，怎么固定住它？用机械夹爪？不行——会产生颗粒污染，而且在真空环境里机械结构越复杂越麻烦。

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/rWFHCl3LYd3D9zuE3J3-Hg 谐振。不是因为这个词酷才用它，而是因为射频加速的整个系统，本质上就是一个为了实现谐振而精心设计的系统。

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/E_jw2GvYUEJviFnwsksuPg 清洗阶段频繁打火，会不会影响后续涂层结合力？

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/guT9n558hSGP078Gc8AQjg 更多技术干货内容欢迎扫码知识星球了解：欢迎加入半导体设备、工艺交流群~请添加小编，请备注公司+姓名+职务。

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/eQQ9_Ll9wpEMn_Yg_mGuXw 这一篇开始，我们换个视角——不谈工艺，谈设备。在离子注入机里，加速系统就是它的心脏。没有它，离子哪儿也去不了。

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/XBZotRN90cQsoziQ7k9YcQ 光刻机工艺-半导体Fab的“瓶颈王”，AMHS在这里该怎么配置？——从OHT振动到Reticle搬运，再到7nm EUV的新挑战

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/U_ooS1Y73Jph9QLU9fxQTQ 多弧机中心磁场和边缘磁场的比例，到底该控制在多少？

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/X4HzI4eOOI9S46D6lxV8SA Deposition，沉积在晶圆表面长一层材料。像给墙刷一层漆，但厚度可能只有几纳米。CVD，化学气相沉积用气体化学反应生成薄膜。

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/cHsISh5DIRpzRb_qjzgcjA 中心磁场、边缘磁场、磁场梯度：哪个最影响弧斑？

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/_OATgQ-rXA9IIa24GAUrDw PVD里的偏压、偏流、鞘层，很多人一直没真正分清

你的 pvd 真空设备多久换一次挡板？ https://mp.weixin.qq.com/s/Jk7FOVrmVCOT0H40-hFpcQ 问大家一个很现实的问题 你们的 PVD 设备，多久清理一次挡板？ 明白清理挡板的意义吗

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/ePrkwyxVipGjonR2djqnTQ 摘要：IHC、Bernas、RF、微波……离子源有这么多类型，它们有什么区别？为什么中低能机和高能机用的离子源不一样？

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/936azvG2jnRMT9LWyPX39Q 摘要：分析磁场、能量磁场、聚焦磁场……离子注入机里这么多"磁场"到底有什么区别？空间电荷力又是什么？

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/w3TM_7NVKkrdaiABps_wdg 等离子体是怎么从气体变成“带电气体”的？

微信公众号资讯文章精选： https://mp.weixin.qq.com/s/J4wJdXQolkQzyesEIKKHKg 买设备还是买算法？先看OEE再说话