[李傲谈芯] 半导体 Chuck：从原理、分类到光刻工艺的良率底层逻辑

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半导体 Chuck：从原理、分类到光刻工艺的良率底层逻辑
干Fab的同行都知道，咱们这行说到底就两件事：把东西放稳，把图案做准。放不稳，啥精度都白搭。今天聊的这个东西——Chuck（卡盘），干的就是“放稳”的活儿。但别小看它，在先进工艺节点下，Chuck的精度直接决定你这一批晶圆是出货还是报废。

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chuck 还需要时间.